課題別 導入事例

半導体デバイス:FET

65nm単一FETを測定し、赤外からテラヘルツ領域までキャリア濃度に応じて照射し、材質および自由キャリア 濃度のマッピング。Drudeモデルに基づき、キャリア濃度をより直接的に定量的に迫ることが可能  

引用先:A. Huber et al., Nano Lett. 8, 3766 (2008)

半導体デバイス:FET
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