高機能！ナノスケールで測定、分析、フーリエ変換ができる【neaSNOM】
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先端分析化学に新たな1ページ
neaSNOMはAFMユニットと赤外イメージング＆分光ユニットから構成され、10nmに迫る高分解能でのイメージングと分光測定を実現できます。
独自の特許技術（Background suppression technique ※）によりプローブやサンプルからの反射や散乱光の影響を抑制し、100％に近い再現性で近接場測定を可能にします。
また、ナノスケールでのプラズモンの表面伝搬状況や半導体デバイス中のドーピング領域の可視化が可能です。
※高調波信号を数値計算・解析することによりバックグランド（ノイズ部）の信号を除去し、局所的な信号を取得する手法。
neaSNOM
| スキャンエリア | 100×100μm（クローズドループ） |
| サンプルステージ | モータ駆動 最大移動幅 X＝60mm、Y=15mm、Z=6mm（AFMヘッド側 X=30mm、Y=3mm、Z=4mm） |
| ノイズレベル | ＜0.2nm RMS（1.5−150Hz） |
| 光学顕微鏡 | 水平分解能0.8μｍ、視野角0.7mm 長作動距離対物レンズ（WD＝20mm） |
| CCDカメラ | 5Mpix ハイスピード・デジタルイメージング |
| 励起波長 | 可視、赤外およびテラヘルツまで ※分光性能は励起波長、測定環境による ※同時に2基の光源を搭載可能 |
| AFMプローブ | neaSNOM専用プローブ（標準/高感度）をご用意。 ※市販プローブの利用も可 |
構成する3つの要素技術
neaSNOM顕微鏡プラットフォーム
neaSNOM顕微鏡プラットフォームは、
以下の基本コンポーネントが含まれています
neaSNOM AFMユニット
集光検出ユニット
neaSNOMデジタルコントローラ
neaSCANがインストールされたPC
neaSNOM信号検出モジュール
各光源に合わせた検出モジュールを選択
CWレーザ用近接場検出モジュール- プロードバンド光源用近接場検出モジュール
様々なオプションを提供します
- ブラズモニクス向け透過型装置構成
neaspecが保証する光源
neaspecは保証された性能と認定され、
すぐに使用できる光源システムを幅広く
提供しています
- イメージングおよび分光用CWレーザ
- 近接場分光用プロードバンドレーザ
卓越した操作性を実現する光学系
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プローブ照射および信号検出用パラボリックミラー
ブロードバンドにも対応 - 光学マイクロスコープを内蔵（空間分解能:0.75μm）
- 振幅･位相検出に特化した近接場検出モジュール
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別々の光学系に対応した、２つの独立したビームパス
Dual Beam Pathデザイン
ナノスケールイメージングを実現するアパーチャレス SNOM
「表面凹凸形状」と近接場による「化学組成マッピング」の同時測定
集光されたレーザがAFMチップ先端
を照射。
AFMチップ先端ではチップ先端径（約10nm）と同程度のナノフォーカス
を
生み出す。
チップとサンプル間に働く近接場相互作用が弾性散乱光
を変調。
AFMチップをサンプル表面上で走査することで分解能10nmの光学マッピングを取得。
F.Huth et al.,Nano Lett.8,3973(2012)
